基本特征
测量功能
电流对电压(IV)测量
•0.1 fA - 1a和0.5 μV - 200v的精确测量范围
•斑点和扫描测量
•时间采样测量(100 μs最小采样率)
•脉冲测量，最小脉冲宽度为50 μs，使用MCSMU或500 μs，使用HPSMU, MPSMU或HRSMU
•ASU (atto-sense和switch unit)可与MPSMU或HRSMU一起使用，提供0.1 fA测量分辨率和SMU/AUX路径切换
•两种模数转换器选择(高分辨率ADC或高速ADC)可用于每种SMU类型(HPSMU, MPSMU和HRSMU)
电容测量
•多频交流阻抗测量支持CV(电容对电压)，C-t(电容对时间)和C-f(电容对频率)测量
•电容测量频率范围为1 kHz至5 MHz
•带漏电流补偿的准静态电容电压(QS-CV)测量
•使用可选的SCUU (SMU CMU统一单元)和GSWU(保护开关单元)或一对华硕自动切换IV和CV测量
脉冲IV/快速IV/瞬态IV测量
•为超快速IV(电流-电压)，脉冲IV和瞬态IV测量提供高速和高灵敏度的测量能力，包括NBTI/PBTI和RTN(随机电报信号噪声)测量
•任意波形生成与10 ns可编程的分辨率
•同时高速电压/电流测量(200 MSa/s, 5 ns采样率)SMU技术支持脉冲IV测量没有负载线的影响
脉冲的一代
•高达±40 V电压脉冲和任意波形生成非易失性存储器评估
•单通道二电平和三电平脉冲能力
B1500A平台
•15英寸触摸屏支持直观GUI的所有功能，方便设备表征
•可配置和可升级的测量模块，每台主机有10个插槽
•GPIB, USB, LAN接口，VGA视频输出接口
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