主要性能指标
I-V 源测量单元(SMU)
●± 210 V/100 mA 或 ± 210 V/1 A 模块
● 100 fA 测量分辨率
●选配前端放大器提供了 10 aA测量分辨率
● 10 mHz - 10 Hz 超低频率电容测量
● 100 mF 负载电容
●四象限操作
● 2 线或 4 线连接
●C-V 多频率电容单元(CVU)
● AC 阻抗测量 (C-V, C-f, C-t)
● 1 kHz - 10 MHz 频率范围
●± 30 V (60 V差分)内置DC偏置源,可以扩展到± 210 V
(420 V 差分)
●选配 CVIV 多通道开关,在 I-V 测量和 C-V 测量之间简便切换
●脉冲式I-V 超快速脉冲测量单元(PMU)
●两个独立的或同步的高速脉冲 I-V 源和测量通道
● 200 MSa/s,5 ns 采样率
●±40 V (80 V p-p),±800 mA
●瞬态波形捕获模式
●任意波形发生器,支持多电平脉冲波形,10 ns 可编程分辨率
●高压脉冲发生器单元(PGU)
●两个高速脉冲电压源通道
●±40 V (80 V p-p),± 800 mA
●任意波形发生器,支持多电平脉冲波形,10 ns 可编程分辨率
●I-V/C-V 多通道开关模块 (CVIV)
●在 I-V测量和 C-V 测量之间简便切换,无需重新布线或抬起探针
●把 C-V测量移动到任意端子,无需重新布线或抬起探针
●支持 ±210 V DC 偏置源
●远程前端放大器/ 开关模块(RPM)
●在 I-V 测量、C-V 测量和超快速脉冲 I-V 测量之间自动切换
●把 4225-PMU的电流灵敏度扩展到数十皮安
●降低电缆电容效应