FS-Pro 半导体参数测试系统是一款功能全面、配置灵活的半导体器件电学特性分析设备，在一个系统中实现了电流电压 (IV) 测试、电容电压 (CV) 测试、脉冲式 IV 测试、任意线性波形发生与测量、高速时域信号釆集以及低频噪声测试能力。几乎所有半导体器件的低频特性表征都可以在 FS-Pro 测试系统中完成。其全面而强大的参数测试分析能力极大地加速了半导体器件与工艺的研发和评估进程，并可与概伦 9812 系列噪声测试系统无缝集成，其快速 DC 测试能力进一步提升了 9812 系列产品的噪声测试效率。
应用范围：
被半导体工业界和众多知名大学及科研机构釆用作为标准测试仪器
集成功能：
高速高精度 IV/CV测试能力
脉冲式 IV测试能力
任意线性波形发生与测量能力
高速时域信号釆集能力
与 9812 对准的低频噪声测试能力
使用方式：
通过内置专业软件 LabExpress 的丰富功能实现测试
操作简单灵活，无需编程即可实现自由的波形发生或电压同步与跟随
系统架构：
PXI标准机箱，可扩展架构,支持通过多机箱扩展SMU卡数量
支持并行测试：
内置功能强大的测试算法
支持多通道并行测试
成倍提升测试效率
硬件规格
宽量程：200V 电压，1A 直流电流
高精度：30fA 精度，0.1fA 灵敏度
噪声测试带宽：高精度最高 100kHz，超低频最高 40Hz
噪声测试速度：<10s/bias（大于 0.5Hz 频率分辨率）
内置脉冲测试：200V 电压，3A 脉冲电流，最小 50us 脉宽
内置 CV测试：200V/10kHz，最低可测至 20fF
外置 CV 测试模块：40V/2MHz（高精度型）40V/10MHz（高带宽型）
高速时域信号采集：最小采样时间 < 1us，10 万点数据
噪声测试最小阻抗：500Ω
噪声测试分辨能力：最低 2e-28A2/Hz
噪声测试频率分辨率：高精度 0.1Hz，超低频 0.001Hz
高精度快速波形发生与测量套件 ：2 通道，SMA 接口
快速 IV 测试：±10V 电压，最大 10mA 电流
SMU 直通：±25V 电压输入，最大 100mA 电流100MSa/s 采样率，最小推荐脉冲宽度可达 130ns
<
<
客服1